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  • NLD-3500（M）原子層沉積系統

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  • NLD-4000（M）原子層沉積系統

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  • NLD-4000（ICPA）全自動PEALD系統

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  • 進口ALD設備

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  • 等離子體增強MOCVD

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  • 金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備

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  • NMC-4000（M）PA-MOCVD設備

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  • NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統

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  • NMC-4000（M） MOCVD設備

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  • NMC-3000等離子輔助MOCVD

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